什么是曝光机
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。
曝光机的基本原理
在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。
曝光机的用途
更广范围(UV,DUV,NUV)的紫外光波长选择,出射光强范围:8mW/cm2~40mW/cm2
支持恒定光强或恒定功率模式
广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。
常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(NQ)紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或复晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
于2010年研发制造出台UV-LED平行曝光机,经过实际测试曝光机均匀度,光线平行度、曝光能量等技术参数均优于传统贡灯光源平行曝光机。
新型UV-LED线路平行曝光机配置了精密的双非球面石英透镜,使光的平行半角小于2#176;普通水冷机大于45#176;,线路解晰度可达50UM/UM普通机为100UM/UM没有红外线热辐射,避免了菲林胀缩,保证影像转移的品质;由于几乎没有光能衰减,所以UVLED冷光源增强了制程的稳定性,提升产品的合格率,且不产生污性臭氧,绿色环保。是目前PCB生产中所用普通汞灯曝光机理想的换代产品。
曝光机配套UVLED冷光源固化机的优点:
一、降低成本:无需更换灯管,无冷却水消耗,非常节省电能。可以节约高达80%的运行成本优点二在基板曝光时瞬间自动点亮,没有待机耗损优点三精密的光学组合,使光源投射的平行半角小于2#176;
二、不含红外线,避免菲林胀缩,稳定影响转移品质。
三、LED逐点校正系统,确保发光强度的一致性。
四、UVLED冷光源相对常规1000小时使用寿命的灯管,能量衰减仅为其1%,提高生产和品质的稳定性。
五、使用不含水银、不产生污性臭氧的UVLED,绿色环保,净化生产环境。
曝光机配套UVLED冷光源固化机方案:
1、该配光方案采用两组柱透镜阵列十字交叉排列配光。
2、该方案实施简单,对透镜的精度要求不是很高,对于公差的控制也不用非常严格。在加工成本和装配成本上有优势。
3、前面的一些图片描述了整个配光的过程和效果,据经验估计,半角宽度在5度 可以满足大部分精度要求不是很高的平行光曝光要求。且该配光方案的光斑均匀性在90%以上。
4、该配光另外一个特点是,照射高度可以比较高达到60-100MM该照射高度和汞灯曝光光源的照射高度类似。
5、该方案虽然半角只能做到5度以内,但是可行性非常好,UVLED冷光源试用于很多薄板的高精度曝光。
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