铜及铜合金化学机械抛光液生产工艺 制备方法 配方技术资料
铜及铜合金化学机械抛光液生产工艺 制备方法 专利配方技术资料1 CN201510441678.8 用于化学机械抛光含有钌和铜的衬底的方法2 CN201410686163.X 一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液3 CN201410685583.6 一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液4 CN201410556103.6 固结磨料化学机械抛光铜的加工方法5 CN201410295621.7 化学机械抛光浆料组合物和将其用于铜和硅通孔应用的方法6 CN201210584552.2 一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺7 CN201210584545.2 一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺8 CN201210289359.6 用来化学机械抛光铜的方法9 CN201110307979.3 一种降低铜的化学机械抛光形成表面蝶形凹陷的方法10 CN201110279927.X 一种铜化学机械抛光组合物11 CN201110153089.1 一种用于抛光铜的化学机械抛光浆料12 CN201110065350.2 ULSI多层铜布线铜的低下压力化学机械抛光的组合物13 CN201110023526.8 用于铜互连层电化学机械抛光的电解液及其制备方法14 CN201110000136.9 一种集成电路铜互连结构中铜的电化学机械抛光液15 CN201010609130.7 一种抛光硅和铜的化学机械平坦化浆料16 CN201010543029.6 核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液17 CN201010232256.7 超大规模集成电路多层铜布线化学机械抛光后的洁净方法18 CN201010231552.5 ULSI铜表面高精密加工过程中化学机械抛光液的制备方法19 CN201010231553.X 超大规模集成电路铜布线表面低压化学机械抛光方法20 CN200910198588.5 铜互连工艺中化学机械抛光的返工方法