黑龙江铜合金化学抛光液生产工艺 制备方法 配方技术资料
铜及铜合金化学抛光液生产工艺 制备方法 专利配方技术资料1 CN201510738648.3 一种铜及铜合金高光亮化学抛光液2 CN201510724177.0 一种无应力电化学抛光铜时去除二氧化硅的方法3 CN201510441678.8 用于化学机械抛光含有钌和铜的衬底的方法4 CN201410729915.6 一种铜或铜合金化学抛光液及其制备方法5 CN201410686163.X 一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液6 CN201410685583.6 一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液7 CN201410556103.6 固结磨料化学机械抛光铜的加工方法8 CN201410295621.7 化学机械抛光浆料组合物和将其用于铜和硅通孔应用的方法9 CN201410173951.9 一种铜及其合金的化学抛光方法10 CN201310678618.9 铜及铜合金工件化学抛光工作液及生产方法11 CN201310623616.X 一种用于钢铁基体化学镀铜的化学抛光液12 CN201310374170.1 一种环保型铜制品用化学抛光液及其制备方法13 CN201210584552.2 一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺14 CN201210584545.2 一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺15 CN201210289359.6 用来化学机械抛光铜的方法16 CN201210249406.4 一种铜及合金表面处理用的化学抛光剂及其制备方法17 CN201110307979.3 一种降低铜的化学机械抛光形成表面蝶形凹陷的方法18 CN201110279927.X 一种铜化学机械抛光组合物19 CN201110153089.1 一种用于抛光铜的化学机械抛光浆料20 CN201110065350.2 ULSI多层铜布线铜的低下压力化学机械抛光的组合物21 CN201110023526.8 用于铜互连层电化学机械抛光的电解液及其制备方法22 CN201110000136.9 一种集成电路铜互连结构中铜的电化学机械抛光液23 CN201010609130.7 一种抛光硅和铜的化学机械平坦化浆料24 CN201010543029.6 核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液25 CN201010232256.7 超大规模集成电路多层铜布线化学机械抛光后的洁净方法
