三氟化氮气体_江苏科米克(在线咨询)_三氟化氮
主要用途
1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有性，操作时应十分谨慎。2.用作高能燃料
1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，三氟化氮气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，进口三氟化氮，而且对表面无污染。氢与NF3反应，三氟化氮出口，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有性，三氟化氮，操作时应十分谨慎。2.用作高能燃料
危险特性：强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触会引起燃烧。与易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纤维等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与还原剂能发生剧烈反应，引起燃烧。 燃烧(分解)产物：氟化氢。
现场应急监测方法: 速测管法；离子选择性电极法
实验室监测方法: 离子选择性电极法(GB7484-87，水质) 滤膜氟离子选择电极法(GB/T15434-95，空气)
身体防护：穿防毒物渗透工作服。 手防护：戴橡胶手套。 其它：工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。 三、急救措施 皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。若有灼伤，就医。 眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水冲洗15分钟。就医。 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 灭火方法：消防人员必须穿戴全身防火防毒服。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫。
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