粉体靶材_靶材_武汉鑫融
靶材的定义:金属靶材,是属于靶材的范畴,靶材就是镀膜用的基底,不同的靶材镀不同的膜,小圆靶材,比如液晶显示器,平板电脑就是用的ITO靶材,ITO靶材是金属氧化物靶材,还有AZO靶材,等等,靶材,用于镀膜,粉体靶材,手机膜,电脑膜,镀好的膜不是像玻璃那样用的,比如ITO膜在液晶显示器中作为阳极使用,要导电性好,透光性好,一个显示器的膜是有好几层的,金属靶材同样的道理,用于镀膜,低密度小圆靶,生产的话,方法就多了,比如铌靶是在惰性气体气氛下,高温气氛烧结过程中,加压成型,而ITO靶材和AZO靶材就可以粉浆浇筑和模压成型。
磁控溅射靶材
1)磁控溅射原理:在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),永磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。
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