直线电机|圆柱型直线电机|PM中国(优质商家)
机械规格
型号MPS50GR MPS75GR
行程360° 连续
精度
标准250 弧秒200 弧秒
机械规格
型号MPS50GR MPS75GR
行程360° 连续
精度
标准250 弧秒200 弧秒
校准80 弧秒80 弧秒
校准80 弧秒80 弧秒
挑战
光学晶片测量系统的关键在于以生
产线速率运行时准确确定和测量缺
陷的能力。直线电机。要做到这一点，需要特
别高刚性的机械结构、运动轮廓生
成和响应隔离系统。系统整定到目
标扫描速度的能力是满足晶片小时
产量的关键。直线电机。
解决方案
Aerotech 的空气轴承和机械轴承平
台在开发时均采用了刚性尽可能高的
结构。这种设计理念使得我们在降低
固有频率的情况下尽可能地提高了产
能。此外，Aerotech 已开发出运动
轮廓优化规程，可实现加速后快速整
定。采用“切片”
命令可使平台在栅状扫描时平稳转
向；而采用“定向增益调整”可在误
差运动的基础上自动调整增益来缩
短整定时间。
直线电机|圆柱型直线电机|PM中国(优质商家)由北京微纳通科技有限公司提供。北京微纳通科技有限公司（www.pmsupplies.com.cn/）位于深圳市宝安区西乡宝安大道固戍地铁站宝丰大厦701室。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前PM中国在电子、电工产品制造设备中拥有较高的**度，享有良好的声誉。PM中国取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。PM中国全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。
