U型硅碳棒-异型硅碳棒
硅碳棒有杰出的化学稳定性,抗酸能力强。在高温条件下碱性物质对其有侵蚀作用。硅碳棒元件在1000
℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发作如下作用: ①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O=Sio2+4H2+CO2致使元件中Sic2含量逐步增多,电阻随之缓慢添加,为之老化。
如水蒸气过多,会推进Sic氧化,由②式反响发作的H2与空气中的O2给合H2O再反响发作恶性循环。下降元件寿数。氢气(H2)能使元件机械强度下降。氮气(N2)在1200℃以下能避免Sic氧化1350℃以上与SC发作反响,使Sic分化
**(Cl2)能使Sic彻底分化