日本TOPCON显微镜TUM-220ESN|日本TOPCON
符 号
TUM-220LSN
TUM-170LSN
※TUM-300ESN
TUM-220ESN
TUM-170ESN
測定範囲
X
220mm**小表示0.1μm
170mm**小表示0.1μm
300mm**小表示0.5μm
220mm**小表示0.5μm
170mm**小表示0.5μm
Y
100mm**小表示0.1μm
75mm**小表示0.1μm
100mm**小表示0.5μm
100mm**小表示0.5μm
75mm**小表示0.5μm