日本樫山工业泵代理,高辉机电(已认证),樫山工业泵

樫山工業kashiyama 真空泵 200MS

产品说明：

樫山工業の製品は、液晶やDRAMに代表される半導体製造分野をはじめ現代の**端の幅広い分野のお客様から高い信頼を得ています。

その信頼の基盤となるのが、長年に亘り培ってきた真空技術です。

特に、半導体製造プロセスにおいてスタンダードとなっている一連のドライポンプのシリーズは、この真空技術の集大成ともいえる製品で、**も困難なプロセスで**も優れた信頼性を発揮するとお客様から高い評価を頂いています。

ドライポンプだけでなく、メカニカルブースタポンプ、真空排気装置、など樫山の真空技術が生み出す製品群は、多分野で威力を発揮しています。

性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。

本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。

更多日本工业产品欢迎来电咨询 日本樫山工业泵生产，我们将给您提供**质的服务，感谢您的来电！

日本樫山工业kashiyama真空泵KMB系列

ドライポンプと組み合わせて排気能力を向上させます。

回転数制御により大気圧からの運転を可能にしました。

高効率設計により従来機種に比べ大幅な小型化を実現しました。

仕様一覧

仕様 ／ 型式 KMB603 KMB1203 KMB2003

**排気速度(L/min)* 10 日本樫山工业泵批发，000 20，000 30，000

到達圧力(Pa)* 0.5

**許容吸気口圧力(Pa) 大気圧

吸気口径 VG80 VG100 VG150

排気口径 VF65 VF100 VF150

概略質量(Kg) 85 110 230

電源電圧 3相 AC200～220V 50/60Hz

運転時動力(kW)** 0.3 0.4 0.8

電源容量(kVA) 4.0 6.5 11.1

冷却水量 3L/min以上

N2流量 0 or 20SCCM

*性能は弊社推奨ドライポンプとの組み合わせ時の値です。

**到達圧力時の運転動力。

排気性能曲線