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更新时间:2019-10-14 11:44:14

洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以...

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温州开泰净化科技有限公司

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温州开泰净化科技有限公司是集空气净化技术的设计、研发、安装、经营于一体的新兴技术企业,是长三角地区专业提供空气净化系统工程整体解决方案的专业型承建商。现公司已成为空调制冷行业协会会员、中国电子协会洁净......
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企业类型 个体经营 经营模式 -
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企业注册地 浙江-温州 经营方向 销售
成立时间 1900 主营行业 机械设备-其他类机械设备
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