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更新时间: 2023/10/8 10:49:13

微波等离子体炬(Microwave Plasma Torch, MPT)是一种新的开放结构的等离子体光源,于 1985 年由金钦汉等首先提出。因其所形成的等 离子体形状类似一个火炬而被命名为“微波等离子体炬”。此后对MPT 的 应用进行了一些初步探讨 [8, 9] 。1991 年,金钦汉等 对 MPT 炬管进行了 改进,并取得了重大进展,使其更易于调谐及进行元素分析。 改进后的MPT 与传统的微波等离子体CMP 和 MIP 相比较,具有明 显的优势和区别。MPT 与CMP 的区别首先在于它形成的等离子体具有中 央通道,样品从中央通道进入等离子体,样品与等离子体间的相互作用较 充分,而CMP 中样品是由等离子体四周向中央扩散的,样品与等离子体 间的相互作用较差。其次,在 MPT 放电中,等离子体与炬管尖端并不接 触,因此不存在电极剥蚀污染的问题,而CMP 是直接从内导体(电极) 尖端形成的,电极物质很容易进入等离子体造成污染。MPT 与MIP 的区 别主要在于 MPT 不是在放电管中形成,而是由炬管顶端向空气中延伸, 这就避免了等离子体与石英管大面积接触造成的放电管刻蚀问题,又提高 了样

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