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 等离子发生器电源选用西门子公司的SIMOREG DC Master 6RA70系列全数字直流调速装置，配以大功率晶闸管三相全控桥式整流装置来得到大功率稳定的可调节的直流电源。具有以下特点：功率50~150KW连续可调；能通过自适应自动测量出输出回路的电阻和电感值，并自动调节电流调节器的增益和积分时间，以达到控制参数的**化；具有完善的通讯功能，支持USS串口通讯和Profibus现场总线通讯方式；具有简易便捷的参数设定及监控；具有完善的过压，欠压，过流等保护功能；通过其他功能模板可实现很多附加功能Applied Materials AMAT 0022-27981 0195-12740 / XP 102102-02 AMAT Applied Materials part #0040-02073 Applied Materials AMAT P400V-25W3A-X/9696, 1270-00112Applied Materials/AMAT 0020-95895 0100-02195320-0302// AMAT APPLIED 0190-24116342 50312510000Applied Materials AMAT Gas Weldment, 0050-06447Applied Materials (AMAT) 0021-42735 0020-01089 0500-01147 / CNTRL MANOMETER INPUT FOR 253&653 EXH TH 1651D2S2/ AMATApplied Materials 1310-00075APPLIED MATERIALS 0045-00013Applied Materials 0100-14014, SCH 0130-14014Applied Materials  #0130-14011APPLIED MATERIALS PCB CDN496 DIP-434-215 0190-04397AMAT Applied Materials 672528PT56Z0Z00 3620-00469 Applied Materials 0021-41125 APPLIED MATERIALS 0040-02166