A06B6124H209

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（1）控制系统

有电气控制和射流控制两种，一般常见的为电气控制。它是机械手的重要组成部分，它支配着机械手按规定的程序运动，并记忆人们给与机械手的指令信息（如动作顺序、运动轨迹、运动速度及时间），同时按其控制系统的信息对执行机构发出指令，必要时可对机械手的动作进行监视，当动作有错误或发生故障时即发出报警信号。

（2）位置检测装置

控制机械手执行机构的运动位置，并随时将执行机构的实际位置反馈给控制系统，并与设定的位置进行比较，然后通过控制系统进行调整，从而使执行机构以一定的进度达到设定位置。

Applied Materials (AMAT) 0140-77908 

Applied Materials (AMAT) 1950170 

Applied Materials (AMAT) 3700-01755

Applied Materials (AMAT) 4670002 

Applied Materials (AMAT) 9150-00545 

Applied Materials (AMAT) 1410-01079 

Applied Materials (AMAT) 0200-09781

Applied Materials (AMAT) 0020-09293 

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Applied Materials (AMAT) 0150-09284 

Applied Materials (AMAT) 9150-00094

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Applied Materials (AMAT) 0020-09406

Applied Materials (AMAT) 70206628000

Applied Materials (AMAT) 70206628010 

Applied Materials (AMAT) 0020-10199

Applied Materials (AMAT) 0140-05662 

Applied Materials (AMAT) 1270-99006 

Applied Materials (AMAT) 3700-90040