"PR6423/004-111 CON041"
每个机器人尺寸大约在1立方英寸，由压电晶体驱动，电磁铁实现在工件表面的定位，这种机器人不仅可以在水平的表面移动，还可以在立面和天棚上移动，而不需要导轨等辅助装置。它还提供了模块化设计，因而为完成不同的微观操作，可以选择不同的工具，如小锤、微检测工具和灰尘捕获探针等。在实验中，多个机器人中有一个带有减速齿轮驱动微钻，其它的由直流电机带动小齿轮驱动，可以合作进行工件表面的微孔加工。
将工业机器人与微动机器人结合在一起使用，可以制造成精密机器人，完成超精密加工及装配。这种方法的优点是可以克服工业机器人精度低的缺点，利用微动机器人提高精度；同时又可以消除微机器人运动行程小的弱点，使机器人可以进行大范围的作业。例如，在大规模集成电路装配中常使用机器人。但是常规的机器人的精度和速度往往不能满足要求。精度低多是源于驱动/伺服精度和机构的传动误差。响应时间慢是由于系统共振模态的带宽窄。为实现**而且快速操作，日本的电气通讯大学设计了普通工业SCARA机器人与压电陶瓷驱动器结合的高精度装配机器人系统，用于IC芯片的加工，效果很好，如图4所示。系统宏动是由SCARA机器人完成的，微动是由一对精密工作台分别实现XY方向的**运动，工作台由压电陶瓷驱动。
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