深圳二手扩晶机回收报价
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二手扩晶机收购商家(深圳中伟设备)分享扩晶机操作步骤
1,将气压计拧入设备左侧过滤器的螺孔中.将电源和气管接头插入气源2.打开电源开关和温控开关,将温度设置为55℃℃ (不同晶圆薄膜之间的温度差是不同的± 5℃)
2,设定给定值:在基本显示状态下,按下可修改下显示窗口中显示的设定温度控制值∧, ∨, < 钥匙.按∨ 关键是减少数据和∧ 增加数据的关键.您可以修改数字的小数点并同时闪烁(就像光标一样).长时间按住可快速增减数值,小数点向右移动,速度自动增加(二级速度).紧迫的∧ 按键可直接移动位置(光标)修改数据,并按键∧ 或者∨ 按键可以修改闪烁位置的数值,所以操作很快
3.通风后,上压盘会自动回到顶部,按下气缸的下降按钮,下压盘会回到底部(重复下气缸动作数次,将上升速度调整到合适的速度)
4.松开锁,抬起上工件板,先将胀圈内圈放在下模上,然后将带晶圆的翻转膜放在下工件前面,晶圆朝上,盖上工件板,锁紧锁
5.按下气缸上按钮,下压盘缓慢上升,薄膜开始四处扩散,颗粒间距逐渐增大.当晶圆间距扩散到原来的2-3倍时,它停止上升,扩张环的外圈圆角平放在薄膜和内圈
6的上方.按下上气缸按钮(始终按下)以降下上压盘.按下膨胀环后,松开按钮,上压板将自动返回顶部
7.按下气缸下降按钮,将压盘下降到底部,取出晶体膨胀后的转晶膜,修整多余的膜面,送下道工序制胶固定晶体
8.调整设备背面下部开口处的行程螺母.调整后,拧紧锁紧螺母
9.上缸调速阀位于缸的上下两部分.下缸调速阀位于设备后部的小方孔处
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