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如果增加一些附加装置，还可以提取出氩、氖、氦、氪、氙等在空气中含量极少的稀有惰性气体。由空气分离装置产出的氧气，经过压缩机的压缩，**将压缩氧气装入高压钢瓶贮存，或通过管道直接输送到工厂、车间使用。使用这种方法生产氧气，虽然需要大型的成套设备和严格的安全操作技术，但是产量高，每小时可以产出数千、万立方米的氧气，而且所耗用的原料仅仅是不用买、不用运、不用仓库储存的空气，所以从1903年研制出**台深冷空分制氧机以来 高纯氧气厂家，这种制氧方法一直得到**广泛的应用。
现场处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离 高纯氧气供应，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。避免与可燃物或易燃物接触。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用
在使用和贮运高纯氧气气瓶过程中 高纯氧气，应避免剧烈震动和撞击。搬运气瓶要轻装轻卸，必须用专门的抬架或小推车 高纯氧气价格，禁止直接使用钢丝绳等吊运氧气瓶。使用和贮存时，应用栏杆或支架对气瓶加以固定，防止倾倒。4）氧气瓶应远离高温、明火和熔融金属飞溅物〔相距10米（m）以上〕。夏季使用时不得在烈日下曝晒。5）开启瓶阀或减压器时动作要缓慢，以防喷出高速气流中的静电火花放电、固体微粒的碰撞热和降擦热、气体受突然压缩时放出的热量（绝热压缩）等引起氧气瓶和减压器爆炸着火。
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