郑州科探仪器设备有限公司
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产品型号KT-等离子清洗机供电电源:AC220V工作电流:整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)射频电源功率:200W射频频率:40KHZ(偏移量小于0.2KHz)频率偏移量:小于0.2KHz特性阻抗:50欧姆,自动匹配真空度:30Pa—100Pa气体流量:10—100ml/min(可调)过程控制:MCU自动与手动方式清洗时间:1-6000秒钟可调功率大小10%-100%可调内腔尺寸200mm×200mm×200mm外形尺寸:450*350*300mm重量:25Kg真空泵:100Pa真空室温度:小于65°C*冷却方式:强制风冷