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更新时间: 2023/10/10 9:08:04

1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持工作稳定。9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的大小,均按GB/T11164-1999中的4.4.6。1)环境温度:10-30oC2)相对湿度:不大于75%3)冷却水进水温度:不高于25o**)冷却水质:城市自来水或相当质量的水5)供电电源:380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需要而定);电压波动范围:342-399V或198-231V;频率波动范围:49-51Hz.6)设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,消耗量等,均应在产品使用说明书中写明。7)设备周围环境整洁,空气清洁,不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。磁控溅射真空镀膜机不均的原因磁控溅射真空镀膜机导致不均的因素哪些?专业从事这方面工作的朋友其实还是比较的了解的,它主要可以分为以下几个因素就是:真空状态、磁场、氩气。磁控溅射真空镀膜机运作就是通过真空状态下正交磁场是电子轰击氩气形成的氩离子再轰击靶材,靶材离子沉积于工件表面成膜。真空状态就需要抽气系统来进行控制,每个抽气口都要同时开动并力度一致,这样就能控制好抽气的均匀性,如果抽气不均匀,在真空室内的压强就不能均匀了,压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制,太短会造成真空度不够,但太长又浪费资源,不过有真空计的存在,要控制好还是不成问题的。磁场是正交运作的,但你要将磁场强度做到百分之一百均匀是不可能的,一般磁场强的地方,成膜厚度就大,相反就小,所以会造成膜层厚度的不一致,不过在生产过程中,由于磁场的不均匀导致的膜层不均匀的情况却不是常见的,为什么呢?原来磁场强弱虽不好进行控制,但同时工件也在同时运转,且是靶材原子多次沉积此案结束镀膜工序,在一段时间内虽然某些部位厚,某些部位薄,但另一个时间内,磁场强的作用下在原来薄的部位沉积上厚的,在厚的部位沉积上薄的,如此多次,整个膜层**终成膜后,均匀性还是比较不错的。氩气的送气均匀性也会对膜层均匀性产生影响,其原理实际上和真空度差不多,因为氩气的进入,真空室内压强会产生变化,均匀的压强大小可以控制成磁控溅射真空镀膜机膜厚度的均匀性。 镀膜机是在高真空状态下通过高温金属熔体铝蒸发,铝蒸镀到塑料薄膜的表面上,使金属设备表面的塑料薄膜。真空镀膜机技术作为一种特定的膜技术,已广泛应用于实际生产和生活。 涂布机涂布方法:离子镀,溅射沉积(1)涂层机:快速成膜0.1—50/min,设备比较简单,容易操作;纯度高,制备的薄膜;薄膜生长机制比较简单。(2)缺点:镀膜机薄膜的附着力较小,结晶过程是不完美的,重复性不够好。 镀膜机镀产品脱膜是怎么回事? A.产品的表面清洁度是不够的,离子源清洁氩放大的长时间。 两。用清洗剂清洗镀膜机,或更换清洁剂,建议使用纯净水试验。(3)工艺参数的变化是否可以在薄膜的厚度和电流进行调整。

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丹阳市宝来利真空机电有限公司是专业从事真空镀膜设备、真空设备、真空镀膜机开发和制造的民营企业,公司以现代薄膜技术为核心,以真空技术和电子高科技为工艺保障,以人性化使用为设计准绳,力求在我们的产品开发和设备制造上精益求精。公司将以*......
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企业类型 私营独资企业 经营模式 -
注册资本 - 员工人数 -
企业注册地 江苏-镇江 经营方向 两者都有
成立时间 2002 主营行业 机械设备-其他行业专用设备
主要经营地点 -
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