真空泵特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(5)压缩比较低,对氢.气抽气效果差;(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 真空泵种类工作压强范围(Pa)起动压强(Pa)活塞式真空泵1×105~1.3×1021×105旋片式真空泵1×105—6.7×10-11×105水环式真空泵1×105—2.7×1031×105罗茨真空泵1.3×103—1.31.3×103涡轮分子泵1.3—1.3×10-51.3水蒸气喷射泵1×105—1.3×10-11×105油扩散泵1.3×10-2—1.3×10-71.3×10油蒸气喷射泵1.3×10—1.3×10-21.3×105分子筛吸附泵1×105—1.3×10-11×105溅射离子泵1.3×10-3—1.3×10-96.7×10-1钛升华泵1.3×10-2—1.3×10-91.3×10-2锆铝吸气剂泵1.3×10—1.3×10-111.3×10低温泵1.3—1.3×10-111.3—1.3×10-1 随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。