等离子刻蚀由于在扩散过程中,即使采用背靠背扩散,硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路。因此,必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀,以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。等离子刻蚀是在低压状态下,反应气体CF4的母体分子在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成,反应腔体中的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,安徽双晶硅太阳能电池片组件,还能吸收能量并形成大量的活性基团,安徽双晶硅太阳能电池片组件。活性反应基团由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面,在那里与被刻蚀材料表面发生化学反应,安徽双晶硅太阳能电池片组件,并形成挥发性的反应生成物脱离被刻蚀物质表面,被真空系统抽出腔体。太阳能电池片切割后功率和电流变化!安徽双晶硅太阳能电池片组件单片的电压0.5-0.6V转换机率该太阳能电池板的功率为5W,面积为:0.03平方米,则它的效率为:5/0.03/1000=0.167=16.7%,也就是它将平方米1000W太阳光能量的16.7%转换成了电能
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