超纯水水质指标:纯净水，指的是不含杂质的H2O。
从学术角度讲，纯净水又称纯水、高纯水，是指化学纯度*的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用zui普遍的还是电子工业。纯水和超纯水一般都没有统一的标准，通常水的纯度是以其电阻率（或电导率）来表证；也有根据用户的需求来规定。
一般意义上讲纯水至少应该是去离子水，即水中大部分阴阳离子是应该被去除的。细菌、悬浮物等的含量也应是相当低的。
目前水质要求zui高的超纯水是半导体行业，根据半导体芯片的大小和线径的不同水质要求也不一样，其超纯水的水质指标如下：电阻率大于18.2兆欧（25摄氏度）；TOC（总有机碳）小于1到10ppb，DO（溶解氧）小于1到10ppb；Particle（颗粒）：0.05微米小于200个/升；离子含量大部分是小于20到50ppt；细菌检测：无。但对于高纯水来说这是不确切的，应检测纯水中某项杂质的含量来表证。这是因为：影响高纯水电阻率的主要因素是PH，而不是ppt即10-11M级杂质，电阻率是衡量水中电解质总和的参数，不能表证某一单项杂质的含量，而对于高纯分析所关心的不是杂质的总含量，而是我们所要分析的某单项杂质该元素的含量，即空白值，这显然不能由电阻率给出的，总之，对于高纯水如果仍以电阻率衡量其水质，将会造成错觉。因此，我们以无焰原子吸收光谱法检查纯水的单项杂质含量来表证其水质，这样可确切地反映水的纯度。而高纯水的国家标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：
1.微电子工艺对水质的要求；
2.制水工艺的水平；
3.检测技术的现状。
