江苏大尺寸高低温光电综合检测系统供应商家 苏州千宇光学科技供应

为了解决实际测量中单一测量方法存在的局限性,结合白光干涉测量技术与共聚焦测量技术,通过紧凑型部分共光路结构原则，江苏大尺寸高低温光电综合检测系统供应商家,设计并搭建了一套超精密表面形貌光学测量系统,实现微纳米几何形貌的三维重构与测量。基于C#语言与DirectX11开发组件,开发了上位机执行软件,实现了两种光学测量模式下硬件的协调控制及纳米标准样板表面形貌的三维重构。对台阶高度标定值为(98.8±0.6)nm的台阶标准样板进行测量,实验表明:用白光干涉测量模式和共聚焦测量模式分别实现了对台阶样板的大范围快速测量和小范围精密测量,10次测量的平均值分别为100，江苏大尺寸高低温光电综合检测系统供应商家.5和99.8 nm,标准差均小于2 nm,说明该系统能较好地满足微纳器件超精密表面形貌测量的要求。这种滤波器相对于无源滤波器的特点是体积小，江苏大尺寸高低温光电综合检测系统供应商家、重量轻、价格低、结构牢固、可以集成。江苏大尺寸高低温光电综合检测系统供应商家技术规格1、完整行程须在60秒内(甚至更短)2、错误判断发生率的降低(避免操作人员的重复检查)3、尽可能的减少嫁动损失(例如减少交换被