从整体上看,ITO在光电综合性能上高于AZO靶材,但AZO靶材的优势或将为靶材带来降本空间。在相关实验中利用AZO靶材和ITO靶材制备了3组实验薄膜(共6份样品)。实验中主要从光学性能和电学性能上对AZO薄膜和ITO薄膜进行了对比。在特定情况下AZO靶材与ITO靶材电学性能差距缩小。根据比较终实验数据来看,AZO薄膜和ITO薄膜的方块电阻以及电阻率随着薄膜的厚度增加而降低,并且随着薄膜厚度的增加,AZO薄膜与ITO薄膜方块电阻以及电阻率之间的差距逐步缩小。当AZO薄膜厚度为640nm时,方块电阻以及电阻率为32Ω?sq-1和20.48*10-4Ω?cm。AZO薄膜光学性能优于ITO薄膜。ITO薄膜的光学性能随着厚度的增加明显变差,江苏镀膜陶瓷靶材,但是对于AZO薄膜,透射率并没有随着厚度的增加而明显下降,在厚度为395nm时,高透射率光谱范围比较宽,江苏镀膜陶瓷靶材,江苏镀膜陶瓷靶材,可见光区平均透射率比较高,光学总体性能比较好,可充当透射率要求在85%以上的宽光谱透明导电薄膜的光学器件AZO薄膜是一种透明导电膜,与ITO薄膜相似的光学和电学特性,制备工艺简单、价格低、无毒和稳定性好等
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