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复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。⑵洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，湖北洁净室精密设备搬迁运输，少量之送风即可得到良好之洁净度，武汉精密设备气垫移位方案，可节省能源，不需人工的自动化生产线为**适宜使用。**、食品业界及半导体业界均适用。⑶并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级Class 1~100级。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
对于穿着的洁净服，建议每周更换一到两次，或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。必须时刻遵守着装程序。衣服不得与地板接触。与地板接触会污染衣服。如果需要戴手套，必须使用洁净室专用的无粉乳胶手套或者丁腈胶手套。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏，黄冈精密设备，如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点，建议改用丁腈胶手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换，但不能在洁净室里更换，只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套，应该慢慢地把手套从手上退下来。
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