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气体管路
北京航星机电工程有限公司,依托于航天系统技术骨干及工程人员组建。主要从事工业、环保、科研院所、航空航天等行业机电安装工程的设计与施工,包括气体管道,气体气站,净化,生产线自动化,工业设备安装等在内的成套工程服务。
系统设计
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气体管道工程施工有什么标准
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实验室气体管道工程分为几种气体?
北京航星机电工程有限公司,依托于航天系统技术骨干及工程人员组建。主要从事工业、环保、科研院所、航空航天等行业机电安装工程的设计与施工,包括气体管道,气体气站,净化,生产线自动化,工业设备安装等在内的成套工程服务。
毒性气体(Toxic Gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性极大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
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