充气柜真空箱式氦检设备-氦检设备-科仪创新真空氦检
真空箱式氦检漏设备【备品备件清单】
真空箱式氦检漏设备——备品备件清单
真空密封圈1根,真空泵油16升,保险芯2个,充气柜真空箱式氦检设备,绿色按钮2只,红色按钮2只,绿色指示灯2个,备用规管1套,开关柜氦检设备,管道链接密封件1套
科仪创新 - 以技术为保障,公司汇聚了国内真空行业的专家、专业技术人员和专业的管理团队。
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真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]
机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空泵组:真空泵组是系统检漏需具备的必要条件,是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组,主抽罗茨泵采用罗茨泵,性能稳定可靠,在高真空下抽速更快,检漏系统配制采用机械泵为前级泵。
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充气开关柜检漏设备
北京科仪创新真空技术有限公司(简称:科仪创新)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。是国内新兴的一家专业从事真空领域的高新技术企业。公司始终坚持以人为本,追求卓越,造就了团结,合作,创新的学习型团队,构建了高起点、高标准的技术平台,成为集真空设备研发、生产、销售、服务为一体的现代化科技型企业。科仪创新产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,氦检设备,离子泵,钛升华泵,SF6充气柜真空氦检设备,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。科仪创新-以创新为理念。使产品与技术达到国内先进水平,形成了具有自主知识产权的较完整的真空产品产业链。产品和技术广泛应用于新能源、新材料、电子、电力、航空航天、半导体、超导、离子、IC装备、科研、节能环保等领域。科仪创新-以技术为保障。公司汇聚了国内真空行业的专家、专业技术人员和专业的管理团队,他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业,也深知现代高新技术企业的内涵,为客户提供完善的技术保障。
由于工件内外压差不能大于0.04Mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。
真空箱检漏工艺流程如下:①工件密封盖板安装(需方人员自行完成)→②吊运至设备小车(同上)→③工件与设备连接(同上)→④按下控制按钮(同上)→⑤设备关门自动运行(真空箱、工件抽空)→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气)→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板
注:①-④-⑦由需方人员自行完成。
【真空箱氦检漏设备】技术参数
1、 真空箱尺寸:长2500mm×1500mm×1000 mm(有效长度)
充氦气压力:0.05Mpa(可调)
2、 工作节拍:<40分钟/件
3、 箱内接口数量:大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率:95%-98%
5、 可检漏率:≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时,应可检出)
6、 保压检测时间:(1-600S可调)
7、 工件真空≤1000Pa
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充气柜真空箱式氦检设备-氦检设备-科仪创新真空氦检由北京科仪创新真空技术有限公司提供。北京科仪创新真空技术有限公司(www.bkycx.com)位于北京市昌平区沙河镇西沙屯顺通南街135号。在市场经济的浪潮中拼博和发展,目前科仪创新真空在行业专用设备中拥有较高的**度,享有良好的声誉。科仪创新真空取得全网商盟认证,标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。科仪创新真空全体员工愿与各界有识之士共同发展,共创美好未来。