节能玻璃镀膜通过真空沉积技术如PVD、CVD等物理化学方法在玻璃上制备的一层、多层纳米~微米级薄膜,甚至可以控制到原子排列,具有声光电磁、生物特性等功能的薄膜。不同薄膜制备和分析技术对于真空度要求不同http://www.zgxcl.com.cn/content/85/243.html真空蒸发沉积需要高真空和超高真空范围(<10-3 Pa); 溅射沉积需要中、高真空(10-2 ~ 10-5 Pa);低压化学气相沉积需要中、低真空(10~ 100Pa);电子显微技术维持的分析环境需要高真空;http://www.zgxcl.com.cn/content/85/243.html材料表面分析需要超高真空。真空环境的获得真空环境的获得需要使用各种各样的真空泵,它们是真空系统的主要组成部分。按获得真空的方法分为两大类:一、输运式真空泵 1、 机械式气体输运泵(旋转式机械真空泵:10-1 Pa 、罗茨泵10-2 Pa以及涡轮分子泵10-8 Pa); 2、 气流式气体输运泵(油扩散泵1-10-6 Pa)。 采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系统之外。二、捕获式真空泵(低温吸附泵10-1-10-8 Pa 、溅射离子泵10-8 Pa ) 依靠在真空系统内凝集或吸附气体分子的方式将气体分子捕获,排除于真空系统之外。 与输运式真空泵不同,某些捕获式真空泵在工作完毕以后还可能将己捕获的气体分子释放回真空系统