湿度，通常在气象学中指的是空气湿度，它是空气中的水蒸气含量。空气中的液态或固态的水不算是在湿度中。在特定的温度下在一定体积的空气里所含的水汽越少，则空气越干燥;水汽越多，则空气越潮湿。
要是室内湿度太大，光谱分析仪中的光电器件、光电元件、电子元件等备受潮湿后，易出现锈蚀、霉变等情况造成仪器接触不良、性能降低，甚至报废。潮湿的环境还容易导致仪器的绝缘性能下降，产生不安全的因素。比如在光谱分析仪光学系统里光栅因湿度太大容易受潮发毛烧坏出现电容打火、高频发生器使等离子体很难点燃等情况，严重的时候还会发生高压电源和高压电路放电击毁元件造成高频发生器损害，如功率管被击穿，输出电路匹配电阻、网络中的可变电容放电等。
湿度太大有时候也会对光谱分析仪的传动部分容易生锈而卡住，比如蠕动泵和狭缝弹簧因生锈传动较差;光路系统易出现雾气，对光谱分析仪的光谱透光度影响很大;上述问题直接导致数据精密度下降。要是湿度过低会出现样品容易挥发和易出现静电干扰现象(造成室内灰尘过多)造成电路板损害;严重的时候还会对操作者身体健康带来危险，比如口干舌燥、眼干鼻塞和咽喉肿痛，严重者还会患上各类呼吸道**。建议放置光谱分析仪的光谱室湿度**不要低于45%RH，把湿度控制在(45~70)%为**范围。
另外还需要特别注意：首先对气候比较湿润地区的用户，必须配备大于50L的除湿机一台，要不然光谱分析仪由于受潮难于正常工作。
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