直读光谱分析仪充分利用激发光源对样品表面进行瞬时激发，对所形成的光谱**测量，从而了解测量样品面上的元素含量分布，那我们要怎么做才能保证直读光谱分析仪的测量准确性?
压火花及其控波型光谱分析仪光源通常是在电容电场的影响下，使用控制气氛中放电;火花光谱分析仪光源通常是在直流电场作用下，较稀控制气氛中放电;等离子体火花式光谱分析仪光源会在射频电磁场影响下控制气氛中放电(电极相互之间的电压及其电流的关联不遵守欧姆定律的)。
光谱分析仪光源的作用就是将待测元素变成气体状态，然后激发成光谱，按照该元素谱线强度转化成光电流，由计算机控制的测光系统按谱线的强度计算出来元素的含量。
光源作用的这种动态过程，就是要把样品由固态变成气态，其中一部分元素激发而发射光谱，但这些气态的样品又不断向四周扩散，分析间隙的气态样品同样在不断更新，以确保达到一个稳定平衡，当火花光谱分析仪光源激发一定的时间后，蒸气云间待测元素浓度值扩大，只有蒸气云中浓度足够大，才会得到大的光电信号。
直读光谱分析仪能不能稳定正常运转，直接关系到了仪器测量数据的好与坏，假如气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会导致气流不太稳定，所以，对气体控制系统要经常进行检查和维护。先要做试验，打开控制系统的电源开关，使电磁阀处在工作状态，随后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，之后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，需在几个小时内没有下降或下降极少，要不然气路中有漏气现象，需要检查和排除。
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