目前,文献中报道较多的干电极的制作材料主要包括:单晶硅,浙江微针研发合作、金属(钛、镍、不锈钢)、 高分子聚合物和玻璃等。有人在单晶硅片上采用深反应离子刻蚀技术工艺制备了高度较高的实心微针阵列。有人在钛薄板上利用微加工工艺制备了钛微针用于经皮给药系统的研究。有人利用深曝光的方法制备了甲基丙稀酸甲酯(PMMA)微针用于脑机接口系统,浙江微针研发合作。虽然干电极的制作材料多种多样,浙江微针研发合作,其基材的选择主要考虑以下几个因素:1)材料的生物相容性;2)微针阵列的机械强度;3)材料加工工艺的复杂度及工艺成本。初始的微针制备过程复杂且容易断裂。浙江微针研发合作微针在医学、美容等领域的应用和更多类型微针的不断涌现,促使着这项科技的进一步发展。从原来的单一空心微针到现如今的空心微针阵列,使用起来也更为高效。微针阵列不仅结构坚固,而且针尖锋利、作用面积大,因此更加便于穿刺且无疼痛感。微针的制作方法也在与时俱进,成品率高、成本低的优点也为其批量化生产带来帮助。经皮给药等依靠微针阵列技术作为辅助工具的手段,价格也因此下调,可以进入大众市场。此外,电解质分析装置也可以用到微针阵列,达到无痛感少量抽血
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