空心微针与微米级的注射针较为相似,一样是输送液体成分至皮内。蒋宏民探索出了一种利用MEMS技术结合传统光刻和倾斜旋制备环氧树脂中空微针阵列的方法。首先,把玻璃基片旋涂上SU8胶,将基片倾斜,江苏超高晶微针定制,在倾斜的基片和掩模版上设置微针的顶角,角度为基片和掩模版倾斜角度的二倍,江苏超高晶微针定制,进行紫外光旋转曝光;第二步,江苏超高晶微针定制,将基片和掩模版经热烘处理,在基片表面上旋涂第二层SU8光刻胶,再次经热烘处理后进行旋转曝光,经第三次热烘处理后,显影得到SU8胶凹锥结构层;第三步,在SU8胶凹锥结构层上制备下模层,在下模层上溅射,制得铬铜复合金属层;第四步,在铬铜复合金属层上采用与第三步相同的方式制备上模层,即可得到完整的空心微针阵列模具。环氧树脂填充入空心微针阵列模具中,经真空固化后再进行打磨处理,然后脱模,就可得到由环氧树脂制成的空心微针阵列。微针既需要有足够的机械强度穿透皮肤,又需要制造微针的材料有一定的安全性。江苏超高晶微针定制用于药物递送的微针概念,首先出现在1971年美国申请的一项 (1976年授权),微针到现在已经发展了40多年。微针可以由多种材料制成, 包括
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