青岛福润德微电子设备有限公司扩散炉生产厂家为您讲解扩散炉的控制系统。 扩散炉的控制部分包括：温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制。 扩散炉的系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。 扩散炉的辅助控制系统，包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等。 较先进的扩散炉控制系统均已更新或升级到微机控制，管机与主机间通过串口RS232或网线进行通信。控制系统软件大多基于Windows系统，实用性和可操作性大大提高，能够实现日志记录，曲线记录，程序编辑，远程控制等多种功能。
以上就是扩散炉的控制系统，希望能够给您带来帮助。
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