压电陶瓷直线电机_aerotech_直线电机
晶片检测
所有晶片制造厂不可或缺的一个组成部分便是光学（光场和暗
场）检测系统。国内直线电机。这些表面评定工具可检测多种缺陷，包括晶片
表面的气泡、凹坑以及划痕等。直线电机。如今的制造厂通常需要流畅高
速的栅状扫描。由于可提供卓越的动态性能特征，Aerotech
ABL9000 一直是此类检查设备的标杆。
产品
?高动态平台（PlanarHD、ABL9000、
ABL1500 和ALS3600）
?直驱旋转Z 轴平台（WaferMax Z 和T）
?高性能A3200 控制平台
BLMH 无铁心直线电机1与其他厂家同等结构的产品相比，可以多输出70%的持续推力
2可选择特殊磁体获得更高的推力
3横截面114.1mmhighx50.8mm
持续推力ContinuousForce：61-123lb
峰值推力PeakForce：243-494lb
压电陶瓷直线电机_aerotech_直线电机由北京微纳通科技有限公司提供。压电陶瓷直线电机_aerotech_直线电机是北京微纳通科技有限公司（www.pmsupplies.com.cn/）今年全新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系电话，索取新的信息，联系人：梁经理。
