国产直线电机,直线电机,PM中国(查看)
特点和优势
? 带机架安装式或离散线性放大器的A3200
运动控制器
? 高性能集成式XY 直线电机平台– 气浮轴承
和机械轴承
? 超稳定运动平台可提供十分严格的定位稳
定性以及小漂移
特点和优势
? 带机架安装式或离散线性放大器的A3200
运动控制器
? 高性能集成式XY 直线电机平台– 气浮轴承
和机械轴承
? 超稳定运动平台可提供十分严格的定位稳
定性以及小漂移
挑战
AFM 可生成分辨率极高、具有十分复杂几
何特征的图像。直线电机。难点之处在于需要找到一
种定位十分准确且在定位时不发生移动的
运动平台。国内直线电机。定位不稳定是AFM 不能容许
的一种伴随运动。
带气动配重Z 轴的Invar
ALS130-XY 经过特别设计,
大大提高了热稳定性。
ANT180-XY
平台系统
ANT130-XY ANT95-XY-ULTRA
多种可选离散或机架
安装式线性放大器
0 5 10 15 20 25 30
1
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
1 nm 级分辨率
ANT95-XY-ULTRA 的1 nm 步阶图
位置 (nm)
时间(秒)
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