邯郸市半导体车间净化厂家联系方式
电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化,日益要求生产环境具有一定的空气洁净
该项目的洁净室在水平方向上采用了港湾式的布置方式。这种布置方式的优点是将工艺设备分为前、后区,前区为人员操作区(硅片暴露区),后区为工艺设备接管区,前后区洁净度区分明显,真正影响产品质量的是前区。将前后区区分开后,洁净度要求高的区域的面积也会减少,以减少整个系统的循环风量,降低能耗及工程造价。根据ISO标准,该洁净室生产前区的洁净度等级为2.5级和3.5级,温度要求为±221℃,相对湿度要求为45%±5%;该洁净室生产后区的洁净度等级为6级和7级,温度要求为±223℃,相对湿度要求为30%-60%。
该项目的洁净室在垂直方向采用三层结构的布置方式(如图),这也是大规模集成电路厂房常用的形式,即上层为洁净室的送风静压层,中间为洁净生产区,下层为回风层及支持区。
在工程上,人们利用室内空气的循环来保持生产区域内的洁净等级。空气在严格控制温度、湿度的前提下,经过过滤器之后进入洁净室内,而室内的空气则经回风系统“离开”洁净室,再经过滤器之后重新进入洁净室。与此同时,由于洁净室内必然会有风量损失,因此也需要补充一部分室外新风。