邢台市半导体车间净化建设厂家
半导体特性决定其制造过程必须有洁净度要求,环境中杂质对半导体的特性有着改变或破坏其性能的作用,所以在半导体器件生产过程中对什么都必须严格控制,杂质各式各样,如金属离子会破坏半导体器件的导电性能,灰尘粒子破坏半导体器件的表面结构等。
半导体器件生产环境要求很严,除了要求恒温恒湿外,对生产环境洁净度要求很严,按单位体积重规定的尘埃粒子数标准分成洁净度的等级。一般分为:10级、100级、1000级、10000级、100000级,国际标准IOS14644-1、国标G**073-2013、美联邦标准中均有规定洁净室和洁净区内空气以大于或等于被考虑粒径的粒子**浓度限值进行划分的等级标准。
半导体器件生产环境要求很严,除了要求恒温恒湿外,对生产环境洁净度要求很严,按单位体积重规定的尘埃粒子数标准分成洁净度的等级。一般分为:10级、100级、1000级、10000级、100000级,国际标准IOS14644-1、国标G**073-2013、美联邦标准中均有规定洁净室和洁净区内空气以大于或等于被考虑粒径的粒子**浓度限值进行划分的等级标准。