陶瓷环|晋宇达|深圳陶瓷环
随着光刻技术的不断发展,光学光刻已从传统的G线、I线到,深圳陶瓷环,发展到远紫外,197nm以及157nm,设备的占用成本越来越高,而随着集成电路设计尺寸的继续缩小,更为严格的套刻指标和巨额的设备成本,无锡陶瓷环,混合匹配使用将成为一种必然的需要。各种混合匹配,以及光学光刻之后下一代光刻系统的混合匹配是需要不断研究的新课题。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
光刻机品牌生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机,分辨率通常在数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌。
以客户为中心、服务为核心和销售作为经营理念,陶瓷环,为大陆提供优质服务为宗旨的企业思想
张家港晋宇达电子科技有限公司
光刻机的匹配使用是指同一产品不同的工艺图层可以分别在不同型号或同一型号不同系列的光刻机上进行光刻,而不影响光刻工艺的质量。亦即保证达到各个工艺图层所要求的套刻精度和线宽控制要求。为达此目标,必须对工艺**同时使用的光刻机进行各种误差的匹配调整。
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