晋宇达(图)|陶瓷手臂定做|陶瓷手臂
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
市场份额
目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家：ASML，陶瓷手臂， 尼康(Nikon)，佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据，在中高端光刻机市场，ASML占据大约60%的市场份额。
光刻机
光刻机/紫外曝光机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，厦门陶瓷手臂，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.
性能指标
光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，陶瓷手臂定做，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。
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张家港晋宇达电子科技有限公司
步进重复投影曝光（Stepping-repeating Project Printing或称作Stepper）。80年代末～90年代，0.35μm（I line）～0.25μm（DUV）。掩膜板缩小比例（4：1），曝光区域（Exposure Field）22×22mm（一次曝光所能覆盖的区域）。增加了棱镜系统的制作难度。
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