广州陶瓷靶材磁控溅射 广东省科学院半导体研究所供应

磁控直流溅射法要求靶材能够将从离子轰击过程中得到的正电荷传递给与其紧密接触的阴极，从而该方法只能溅射导体材料，不适于绝缘材料。因为轰击绝缘靶材时，表面的离子电荷无法中和，这将导致靶面电位升高，外加电压几乎都加在靶上，两极间的离子加速与电离的机会将变小，甚至不能电离，导致不能连续放电甚至放电停止，溅射停止。故对于绝缘靶材或导电性很差的非金属靶材，须用射频溅射法。溅射过程中涉及到复杂的散射过程和多种能量传递过程：入射粒子与靶材原子发生弹性碰撞，入射粒子的一部分动能会传给靶材原子；某些靶材原子的动能超过由其周围存在的其它原子所形成的势垒（对于金属是5-10eV），从而从晶格点阵中被碰撞出来，产生离位原子；这些离位原子进一步和附近的原子依次反复碰撞，广州陶瓷靶材磁控溅射，广州陶瓷靶材磁控溅射，产生碰撞级联；当这种碰撞级联到达靶材表面时，广州陶瓷靶材磁控溅射，如果靠近靶材表面的原子的动能大于表面结合能（对于金属是1-6eV），这些原子就会从靶材表面脱离从而进入真空。单向脉冲正电压段的电压为零!溅射发生在负电压段。广州陶瓷靶材磁控溅射磁控溅射靶材的原理如下：在被溅射的靶极与阳极之间加一个正交磁场和